（如何處理沸石轉(zhuǎn)輪中的VOCs廢氣殘留）

　　沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留的處理方法，目前對(duì)VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。我國防治VOCs的要求和力度逐步加強(qiáng)，沸石旋轉(zhuǎn)吸附濃縮法處理低濃度廢氣成為許多企業(yè)的首選處理方案。在使用過程中，揮發(fā)性有機(jī)化合物殘留在轉(zhuǎn)輪中，會(huì)導(dǎo)致沸石轉(zhuǎn)輪劣化，降低處理效率。如何避免和處理這樣的情況？為了減少沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備中揮發(fā)性有機(jī)化合物的殘留，應(yīng)改善揮發(fā)性有機(jī)化合物廢氣的入口質(zhì)量，提高脫附效率。

　　廢氣預(yù)處理措施通常包括除塵、除濕、除霧、除高沸物等。根據(jù)待處理VOCs廢氣的實(shí)際情況，選擇合適的廢氣預(yù)處理措施。比如半導(dǎo)體的制造工藝對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的顆粒物有嚴(yán)格的要求，一般都是清潔車間。因此，有機(jī)廢氣中顆粒物的含量很小，通常不需要除塵預(yù)處理。

　　1.廢氣預(yù)處理

　　芯片制造生產(chǎn)過程中使用的主要有機(jī)原料通常具有低沸點(diǎn)和揮發(fā)性的特點(diǎn)，但仍不排除少量高沸點(diǎn)物質(zhì)，如汽提液的主要成分二甘醇胺(沸程218~224℃)。在高沸點(diǎn)物質(zhì)的處理過程中，可以增加冷凝、前期活性炭吸附等預(yù)處理裝置，避免VOCs廢氣中難以脫附的高沸點(diǎn)物質(zhì)進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪。高沸點(diǎn)的VOCs進(jìn)入廢氣管道后容易冷凝，從而增加廢氣的濕度。

　　2.用高壓空氣吹掃

　　在停機(jī)、檢查和維護(hù)期間，用高壓空氣吹掃沸石轉(zhuǎn)輪。但高壓空氣吹掃只能去除附著在沸石轉(zhuǎn)輪表面的灰塵，而VOCs有機(jī)物通常吸附在分子篩孔隙中，無法有效去除，需要配合上述其他處理方法進(jìn)行選擇。